Synhwyrydd Tymheredd a Lleithder ar gyfer Cynllun Rheoli Lleithder Ystafell Lân Lled-ddargludyddion
Sioe Cynnyrch
Y tymhereddamae lleithder gofod glân yn cael ei bennu'n bennaf yn unol â gofynion y broses, ond o dan yr amod o fodloni gofynion y broses, dylid ystyried yr ymdeimlad o gysur.Gyda gwelliant mewn gofynion glendid aer, bu tuedd o ofynion mwy a mwy llym ar gyfer tymheredd a lleithder.
Gan fod y cywirdeb prosesu yn fwy a mwy dirwy, felly mae'r ystod amrywiad tymheredd yn llai a llai.Er enghraifft, yn y broses amlygiad lithograffig o gynhyrchu cylched integredig ar raddfa fawr, mae'n ofynnol i'r gwahaniaeth o gyfernod ehangu thermol rhwng gwydr a wafer silicon fel deunydd mwgwd fod yn llai ac yn llai.Bydd diamedr 100 um wafer silicon, cynnydd tymheredd 1 gradd, yn achosi ehangiad llinellol 0.24um, felly mae'n rhaid bod tymheredd o ± 0.1 gradd, ar yr un pryd mae'r gwerth lleithder yn gyffredinol isel, oherwydd bod pobl yn chwysu, bydd gan y cynnyrch lygredd, yn enwedig ofn gweithdy lled-ddargludyddion sodiwm, ni ddylai'r gweithdy hwn fod yn fwy na 25 gradd.
Mae lleithder uchel yn achosi mwy o broblemau.Pan fydd lleithder cymharol yn fwy na 55%, bydd gwlith yn ffurfio ar wal y bibell ddŵr oeri, a fydd yn achosi damweiniau amrywiol os bydd yn digwydd mewn dyfeisiau neu gylchedau manwl gywir.Pan fo'r lleithder cymharol yn 50%, mae'n hawdd ei rustio.Yn ogystal, pan fydd y lleithder yn rhy uchel, bydd y llwch sy'n sownd i wyneb y sglodion silicon yn cael ei arsugno'n gemegol ar yr wyneb i wrthsefyll tynnu.Po uchaf yw'r lleithder cymharol, mae'n anodd tynnu'r adlyniad, ond pan fo'r lleithder cymharol yn is na 30%, mae'r gronynnau'n hawdd eu hamsugno ar yr wyneb oherwydd gweithrediad grym electrostatig, ac mae nifer fawr o ddyfeisiau lled-ddargludyddion yn cael eu yn dueddol o chwalu.Yr ystod tymheredd gorau posibl ar gyfer cynhyrchu wafferi yw 35-45%.
Felly, mae rheoli tymheredd a lleithder yn arbennig o bwysig, gall HENGKO ddarparu cyfres odatrysiadau prosesu wedi'u haddasu ar gyfer trosglwyddydd tymheredd a lleithder!
Synhwyrydd Tymheredd a Lleithder ar gyfer Cynllun Rheoli Lleithder Ystafell Lân Lled-ddargludyddion
Methu dod o hyd i gynnyrch sy'n cwrdd â'ch anghenion?Cysylltwch â'n staff gwerthu amGwasanaethau addasu OEM / ODM! 
